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真空镀膜机膜厚如何测量?
发布时间:2014-12-12 浏览:2319 次

  在使用真空镀膜机镀膜之后,为了需要可能会要测量膜层的厚度,测量膜层的厚度用什么方法呢?

  最直接的镀膜控制方法是石英晶体微量平衡法(QCM),这种仪器可以直接驱动蒸发源,通过PID控制循环驱动挡板,保持蒸发速率。

  只要将仪器与系统控制软件相连接,它就可以控制整个的镀膜过程。但是(QCM)的精确度是有限的,部分原因是由于它监控的是被镀膜的质量而不是其光学厚度。

  此外虽然QCM在较低温度下非常稳定,但温度较高时,它会变得对温度非常敏感。在长时间的加热过程中,很难阻止传感器跌入这个敏感区域,从而对膜层造成重大误差。

  光学监控是高精密镀膜的的首选监控方式,这是因为它可以更精确地控制膜层厚度(如果运用得当)。

  精确度的改进源于很多因素,但最根本的原因是对光学厚度的监控。

 

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