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真空镀膜设备常用真空计介绍
发布时间:2014-12-16 浏览:2265 次

  电阻真空计(又叫皮喇尼真空计):

  它主要由电热丝、外壳和支架构成,主要是根据在低压下,气体的热传导系数与压强成正比的方式工作的。上面开口处与被测真空系统相连接,热丝采用电阻温度系数大的金属丝做成,两支支架引线与测量线路连接。

  当压强降低的时候,由于气体热传导散失的热量减小,因此当热丝加热电流稳定时候,则热丝温度就上升,热丝的电阻就增大,用测量热丝电阻值的大小来间接测量压强,有以下关系:

  略 这就是电阻真空计的工作原理,此真空计的测量范围是:100-10-1帕之间,目前采用的型号是WP-02

  磁控放电真空计:

  工作原理:在放电开始时,由于空间游离电子向阳极运动时,在正交电磁场作用下,电子的轨迹不是直线而是螺旋线前进,又因为阳极是框形,故电子不一定第一次就碰上阳极,而是穿过阳极,然后受到对面阴极的拒斥,又复返回。

  这样反复多次才可能打上阳极。由于电子路程大大加长,故碰撞及电离的分子数增加,使得在较低压强(10-4帕以下)仍维持放电(也称潘宁放电)。

  目前比较多的型号有PKR251、GI-PARY

  放电管真空计:在玻璃管中封入两个金属电极,在其上加上数千伏的直流高电压,在一定的压强范围内(1*10-3~2*10托)内就能引起自持放电,通过放电颜色来判定其真空度

  目前为止这种真空计已经很少使用,因为其误差大,容易损坏,而且寿命不长。

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